09:15 〜 09:30 [15a-D511-2] 窒素添加CZ-Si結晶育成中のボイド形成に与える酸素の影響 〇佐田 晃1、野田 祐輔2、末岡 浩治2、梶原 薫3、宝来 正隆3 (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工、3.SUMCO)