10:30 〜 10:45 [15a-D511-6] RTPウェーハの空孔-酸素複合体(VO4)と金属原子の結合に関する理論的研究 〇岩城 浩也1、須藤 治生1、早川 兼1、神山 栄治1 (1.グローバル・ウェーハズジャパン(株))