14:30 〜 14:45 [15p-A403-7] CF4/ArによるMg2Si基板の反応性イオンエッチング特性 〇今泉 尚己1、中村 陸斗1、吉田 美沙2、津谷 大樹2、鵜殿 治彦1 (1.茨城大院、2.NIMS)