田中将

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発表者・著者、共著者

2023年3月15日(水) 13:00 〜 18:30 A404 (6号館)

一般セッション(口頭講演)
| 6 薄膜・表面
| 6.1 強誘電体薄膜

[15p-A404-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

15:00 〜 15:15

△ [15p-A404-9] RTA時種々電界印加のHf_0.5Zr_0.5O₂強誘電体薄膜電気特性への効果

〇(M2)田中将¹、早川洸海¹、野田実¹ (1.京工繊大)