15:30 〜 15:45 △ [15p-D221-8] 基板の表面状態がSiマイクロ・ナノロールの形状に及ぼす影響 〇喬 楊木易1、新井 太貴1、鈴木 俊明1、吉越 章隆2、丹羽 雅昭1、本橋 光也1 (1.東電大工、2.原子力機構)