14:15 〜 14:30 [15p-E102-4] 高背圧下でのPLDによる高移動度In2O3薄膜作製 〇曲 勇作1、ゲディア プラシャント1、楊 卉1,2、張 雨橋3、松尾 保孝1、太田 裕道1 (1.北大電子研、2.北京交通大、3.江蘇大)