JIALUN CAI

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発表者・著者、共著者

2023年3月15日(水) 16:00 〜 18:00 PA06 (ポスター)

一般セッション(ポスター講演)
| 15 結晶工学
| 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[15p-PA06-1~4] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

16:00 〜 18:00

▲ [15p-PA06-2] Formation of SiO₂ Layer on SiGe/Si Nano-structures using Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition

〇JIALUN CAI¹、NORIYUKI TAOKA¹、KATSUNORI MAKIHARA¹、AKIO OHTA¹、SEIICHI MIYAZAKI¹ (1.Nagoya Univ.)