10:45 〜 11:00 [16a-A409-7] 導波路加工偏差モニタリングによる方向性結合器の分岐比ばらつき解析 〇堀川 剛1、西山 伸彦1,2,3 (1.東工大工、2.東工大IIR、3.PETRA)