15:15 〜 15:30 [16p-A402-4] 【注目講演】機械学習エッチング深さモニタの高精度化に向けた学習アルゴリズムの開発 〇江藤 宗一郎1、中元 茂2、福地 巧祐2 (1.日立製作所、2.日立ハイテク)