16:15 〜 16:30 [16p-A403-11] 電気化学的酸化法によるTa酸化膜成長とReRAMへの適用 〇(M1C)宮田 直仁1、石井 芳晶1、高橋 昌男1、茂庭 昌弘1 (1.東京工科大工)