Guo Chen

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発表者・著者、共著者

2023年3月16日(木) 13:00 〜 17:45 A408 (6号館)

一般セッション(口頭講演)
| 6 薄膜・表面
| 6.2 カーボン系薄膜

[16p-A408-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

13:00 〜 13:15

▼ [16p-A408-1] Effect of Ultra-High Vacuum Annealing and Hydrogen Plasma Treatment on the Resonance Properties of Single-Crystal Diamond MEMS Cantilevers

〇(D)Guo Chen¹、Zilong Zhang¹、Liwen Sang¹、Yasuo Koide¹、Satoshi Koizumi¹、Meiyong Liao¹ (1.NIMS)