Zilong Zhang

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発表者・著者、共著者

2023年3月16日(木) 13:00 〜 17:45 A408 (6号館)

一般セッション(口頭講演)
| 6 薄膜・表面
| 6.2 カーボン系薄膜

[16p-A408-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

13:15 〜 13:30

▲ [16p-A408-2] High-temperature diamond MEMS magnetic sensor with on-chip actuation and sensing

〇Zilong Zhang¹、Guo Chen¹、Liwen Sang¹、Yasuo Koide¹、Satoshi Koizumi¹、Meiyong Liao¹ (1.NIMS)