17:15 〜 17:30 [16p-A409-13] Li0.65Nb0.3Ta0.05O3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性 〇(B)中村 華英1,2、工藤 慎也1,2、柳谷 隆彦1,2,3,4,5 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST、5.JST-START)