16:15 〜 16:30 [16p-A409-9] アルキメディアンスパイラル構造のチップ面垂直方向変位の実現のためのPZT 薄膜アクチュエータパターンの研究 〇山本 泰之1、松本 壮平1、山本 智子1、岡本 友貴1、一木 正聡1、小林 健1 (1.産総研)