17:00 〜 17:15 [16p-B508-15] シリコン窒化膜の電子捕獲特性に対する熱処理の影響 〇王 祖豪1、木本 健嗣3、中川 宗一郎1、指田 光弘2、中村 健人2、藤野 郁弥2、前島 邦光3、小林 清輝1,2 (1.東海大院工、2.東海大工、3.電子科学(株))