16:00 〜 18:00 [16p-PA08-10] 反応性DCスパッタ法で堆積したZnO薄膜の基板位置依存性 〇(B)佐藤 陽輝1、近藤 駿1、モハメッド シュルズ ミヤ1、中野 武雄1 (1.成形大理工)