16:00 〜 18:00 [16p-PA09-13] RFマグネトロンスパッタリング法によって作製したMnドープ ITO薄膜の物性に対するアニール処理効果の評価 〇(M2C)武久 進太郎1、川村 亮人1、北川 彩貴1、中村 敏浩1,2 (1.京都大学大学院人間・環境学研究科、2.京都大学国際高等教育院)