09:00 〜 09:15 [17a-B414-1] スパッタWS2膜へのCl2プラズマ処理によるシート抵抗低減 〇(B)黒原 啓太1、今井 慎也1、冨谷 茂隆1、辰巳 哲也1、若林 整1 (1.東工大)