09:30 〜 11:30 [17a-PB01-2] RFマグネトロンスパッタ法による酸化ガリウム薄膜の作製と評価に関する研究 〇(M1)高橋 駿介1、桑原 翔太1、佐藤 祐喜1、吉門 進三1 (1.同志社大院理工)