17:00 〜 17:15 [17p-A401-15] 学術論文から薄膜合成最適プロセス条件を抽出する 〇小林 成1、桑代 法和2、伊藤 史朗2、桜井 大2、一杉 太郎1,3 (1.東工大物質理工、2.長瀬産業、3.東大院理)