16:45 〜 17:00 [17p-A403-14] TiOx/SiOy/結晶Siヘテロ構造におけるAl成膜後のパッシベーション性能に及ぼすLiF層の効果 〇深谷 昌平1、後藤 和泰1、松井 卓矢2、齋 均2、黒川 康良1、宇佐美 徳隆1 (1.名大院工、2.産総研 GZR)