14:15 〜 14:30 [17p-D511-5] 低誘電率層間絶縁膜材料と金属配線の界面熱抵抗の評価 〇(M1)曹 志1、徐 茂2、詹 天卓3、渡邉 孝信1 (1.早大理工、2.東工大、3.東洋大)