13:30 〜 15:30 [17p-PA06-14] 圧電振動型エナジーハーベスタの大出力化を目指したチタン片持ち梁上のc軸配向性AlN薄膜合成 〇(B)長尾 知哉1、H. H. Nguyen2、桑野 博喜2、大口 裕之1 (1.芝浦工大工、2.東北大NiCHe)