Sri Ayu Anggraini

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発表者・著者、共著者

2023年3月17日(金) 13:30 〜 15:30 PB01 (ポスター)

一般セッション(ポスター講演)
| 9 応用物性
| 9.1 誘電材料・誘電体

[17p-PB01-1~4] 9.1 誘電材料・誘電体

13:30 〜 15:30

▲ [17p-PB01-4] Effect of addition of elements in group IVB (C, Si, Ge, Sn) on polarity inversion of Scandium Aluminum Nitride (ScAlN) piezoelectric thin films

〇Sri Ayu Anggraini¹、Masato Uehara¹、Kenji Hirata¹、Hiroshi Yamada¹、Morito Akiyama¹ (1.AIST)