Quan Shi

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発表者・著者、共著者

2023年3月18日(土) 09:00 〜 11:30 A408 (6号館)

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.3 プラズマナノテクノロジー

[18a-A408-1~9] 8.3 プラズマナノテクノロジー

11:15 〜 11:30

▼ [18a-A408-9] Nano/micro-structures formation on various semiconductors by argon plasma irradiation assisted with molybdenum impurity

〇(PC)Quan Shi¹、Shin Kajita²、Hirohiko Tanaka³、Ryo Yasuhara¹、Noriyasu Ohno³、Hiyori Uehara¹ (1.NIFS、2.Univ. of Tokyo、3.Nagoya Univ.)