09:45 〜 10:00 [18a-B401-4] DCパルススパッタリング法によるGaNの選択成長 〇長谷川 大輔1、本田 達也1、上山 智2、高橋 伸明3、三浦 仁嗣3、上向井 正裕1、谷川 智之1、片山 竜二1 (1.阪大院工、2.名城大、3.東京エレクトロン)