15:45 〜 16:00 [18p-B401-11] AlN/AlGaNヘテロ界面に誘起される2次元電子ガスマルチチャネル構造の作製と評価 〇小坂 鷹生1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1 (1.東大生研)