2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

加藤 公彦

座長等

2023年3月16日(木) 13:00 〜 18:45 A403 (6号館)

  • 一般セッション(口頭講演)
  • | 13 半導体
  • | 13.5 デバイス/配線/集積化技術

遠藤 和彦(東北大)、加藤 公彦(産総研)