[15a-A409-1~6] 6.3 Oxide electronics

△ [15a-A409-1] Structural and electrical property control of impurity doped amorphous vanadium oxide thin film for the fabrication of novel thermoelectric materials by UV irradiation

〇(M1)Itsuki Osawa¹, Hiroki Shoji¹, Kenta Kaneko¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:semiconductor, amorphous, UV

酸化バナジウムはガラス網目形成酸化物として知られ、ガラス中の異なる価数のVイオン間のホッピング伝導による導電性を示す。本研究では、低熱伝導率な非晶質状態でありながら、電気伝導性のある酸化バナジウムを熱電変換材料として応用することを目的に、紫外光照射等による電気特性制御を検討した。その結果、KrFエキシマレーザーの照射によって、酸化バナジウムの化学状態変化を伴う、3桁程度の抵抗値低減が確認された。