[15a-D209-1~5] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[15a-D209-5] 平面レチクルを用いた対向放物面ミラー立体投影露光の可能性

〇堀内 敏行¹、小林 宏史¹ (1.東京電機大工)

キーワード：立体面投影露光、放物面鏡、曲面リソグラフィ

放物面ミラー投影露光により、曲面レチクル上のパターンを同じ曲面形状の試料に転写できたが、曲面レチクルの作成は容易ではなく、利用上の障害になると思われた。そこで、平面レチクルにより曲面上にパターン形成ができないか検討した。実験の結果、2mm間隔、線幅200µmの正方格子平面レチクルパターンがスプーンの凹面、凸面に転写できることが分かり、平面レチクルにより曲面物体面にパターンを転写できる見通しを得た。