[15a-D511-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-D511-10] シリコン・炭素系混合分子イオン注入エピタキシャルウェーハのSiO₂/Si界面準位欠陥に対するパッシベーション効果の解析

〇奥山 亮輔¹、門野 武¹、柾田 亜由美¹、鈴木 陽洋¹、小林 弘治¹、重松 理史¹、廣瀬 諒¹、古賀 祥泰¹、栗田 一成¹ (1.SUMCO)

キーワード：水素、パッシベーション