2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[15p-A301-1~13] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2023年3月15日(水) 13:00 〜 16:45 A301 (6号館)

三谷 武志(産総研)、浅水 啓州(ローム)

13:30 〜 13:45

[15p-A301-3] SiC溶液成長における炭素拡散場を介したステップ相互作用の解析

〇(M1)中西 祐貴1、沓掛 健太朗2,3、黨 一帆1、原田 俊太1,3、田川 美穂1,3、宇治原 徹1,3 (1.名大院工、2.理研AIP、3.名大未来研)

キーワード:SiC、結晶成長