[15p-A301-1~13] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-A301-4] SiC溶液成長におけるマクロステップ高さがインクルージョン形成に及ぼす影響

〇深見 勇馬¹、周 惠琴¹、竹本 玖生¹、黨 一帆¹、原田 俊太¹、田川 美穂¹、宇治原 徹¹ (1.名大院工)

キーワード：SiC、結晶成長、インクルージョン

SiC 溶液成長法においてはマクロステップの進展により、貫通転位が基底面方向の転位に変換し、成長とともに基底面に沿って転位は結晶外へと掃き出される。一方で、マクロステップが過剰に発展すると、ステップ形状が不安定化し溶媒が結晶中に取り込まれる（インクルージョン）。本研究では、ステップ高さがインクルージョンの形成に及ぼす影響を調べた。