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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-A403-1~16] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2023年3月15日(水) 13:00 〜 17:15 A403 (6号館)

鵜殿治彦(茨城大)、末益崇(筑波大)、山口憲司(量研機構)

13:30 〜 13:45

[15p-A403-3] スパッタ法で作製した多結晶BaSi₂膜へのBイオン注入による伝導型制御

〇佐藤匠¹、木戸一輝¹、長谷部隼¹、竹中晴紀¹、青貫翔¹、召田雅実²、都甲薫¹、末益崇¹ (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)

キーワード：半導体、太陽電池