[15p-A408-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-A408-11] フルオロカーボン凝縮層への低速電子線照射によるPTFE/a-C:F薄膜成長機構の解明

〇秋山 恒樹¹、三谷 隼弘¹、佐藤 哲也¹、塩澤 佑一朗²、上垣 良信² (1.山梨大院工、2.山梨県産業技術センター)

キーワード：極低温、基板バイアス、フルオロカーボン