The 70th JSAP Spring Meeting 2023

Presentation information

Oral presentation

6 Thin Films and Surfaces » 6.2 Carbon-based thin films

[15p-A408-1~14] 6.2 Carbon-based thin films

Wed. Mar 15, 2023 1:00 PM - 4:45 PM A408 (Building No. 6)

Kazuhiro Kanda(Univ. of Hyogo), Toru Harigai(Toyohashi Univ. of Tech.)

2:00 PM - 2:15 PM

[15p-A408-5] Nano-size Controlled Doping into Diamond-like Carbon

Susumu Takabayashi1, Hisashi Koga1 (1.National Institute of Technology, Ariake College)

Keywords:Diamond-like carbon, Photoemission-assisted Townsend discharge, Dopng

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の有する低摩擦性などの優れた諸物性の向上や更なる新規物性探索を目的として、ヘテロ元素のドーピングが行われている。本発表では、DLCの電子デバイス応用を念頭に置いて、そのドーピング制御を試みる。

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