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[15p-A408-5] Nano-size Controlled Doping into Diamond-like Carbon
Keywords:Diamond-like carbon, Photoemission-assisted Townsend discharge, Dopng
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の有する低摩擦性などの優れた諸物性の向上や更なる新規物性探索を目的として、ヘテロ元素のドーピングが行われている。本発表では、DLCの電子デバイス応用を念頭に置いて、そのドーピング制御を試みる。