[15p-A408-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-A408-5] ダイヤモンドライクカーボンへのナノ制御ドーピング

〇鷹林 将¹、古賀 永¹ (1.有明高専)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、光電子制御タウンゼント放電、ドーピング

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の有する低摩擦性などの優れた諸物性の向上や更なる新規物性探索を目的として、ヘテロ元素のドーピングが行われている。本発表では、DLCの電子デバイス応用を念頭に置いて、そのドーピング制御を試みる。