[15p-A408-1~14] 6.2 Carbon-based thin films

[15p-A408-8] Ab-initio Molecular Dynamics Study on the Properties of B-doping Amorphous Carbon

〇QIANG YUE¹, TAISHI KANAYAMA¹, KOTA MATSUO¹, RYOMA NISHIKAWA¹, REKI NAKAMOTO¹, TAKAYOSHI YOKOYA², YUJI MURAOKA² (1.Okayama Univ., 2.Okayama Univ. RIIS.)

Keywords:amorphous carbon film, Ab-initio Molecular Dynamics Study

ホウ素ドープ非晶質炭素体(α-C)の物性に関する実験と理論の研究は少なく、ホウ素ドープ量
に伴うα-C の物性 (sp 3 量や密度など) の変化について一貫した結論はない。密度汎関数理論に
基づく分子動力学計算(AIMD)では、理想的な条件を仮想して、電子レベルで材料特性の研究がで
きる。本研究では、ホウ素ドープα-C の物性を AIMD 計算により調べた。