[15p-A410-1~11] 【Open Symposium】Cutting edge nanotechnology for virus detection -Realization of a pandemic-free society with graphene FET sensors capable of rapid detection of human infectious viruses-

[15p-A410-6] Robust Graphene FET Biosensors Toward Social Implementation

〇Shouta Ushiba¹, Naruto Miyakawa¹, Ayumi Shinagawa¹, Tomomi Nakano¹, Takao Ono^2,3, Yasushi Kanai^2,4, Shinsuke Tani¹, Masahiko Kimura¹, Kazuhiko Matsumoto² (1.Murata Manufacturing Co., Ltd., 2.SANKEN, Osaka Univ., 3.JST-PRESTO, 4.OTRI, Osaka Univ.)

Keywords:Graphene FET, Biosensors

単層グラフェンFETバイオセンサは、構成する全ての原子が表面と接しているため、表面の電荷変化に対し、鋭敏に応答することが期待される。さらに、単層グラフェンのCVD合成により、機械剥離グラフェンでは困難であったグラフェンFET (G-FET) アレイの作製が可能となった。しかし、グラフェンFETはプロセス過程で容易に剥離・汚染が生じるため、均質な特性を担保しつつ量産することは難しい。これまで我々はグラフェンFETバイオセンサの社会実装を目指し、様々な取り組みを進めてきた。例えば、深層学習を用いてG-FETの光学顕微鏡画像をグラフェン・電極・基板・汚れに分類し、良品・不良品を大規模かつ高速に鑑別するスクリーニング方法を確立した。また、グラフェンと基板の界面を制御し、溶液中で安定に動作するグラフェンFETバイオセンサの構造を見出した。本講演では、我々の最近の取り組みについて報告する。