[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

[15p-B309-3] マッハ・ツェンダー干渉計を用いた大気圧グロー放電内のガス温度推定

〇杤久保 文嘉¹、吉川 昇汰¹、中川 雄介¹ (1.都立大院システムデザイン)

キーワード：大気圧グロー放電、ガス温度計測

大気圧グロー放電は大気圧下における非平衡プラズマの一種であり，特に希ガスを用いた場合は比較的容易に様々な形態の大気圧グロー放電が得られる。直流や高周波，マイクロ波を用いた大気圧グロー放電では電子密度が高くなるため，ジュール加熱によるガス温度上昇が無視できない。本研究ではマッハ・ツェンダー干渉計を用いて直流，またはパルス駆動の大気圧グロー放電のガス密度分布を計測してガス温度分布を推定した。