[15p-B401-1~18] 15.4 III-V-group nitride crystals

△ [15p-B401-11] Fabrication technology of hollowed-structured MicroLED for transfer method

〇Taiki Kitade¹, Ryota Kanda¹, Atsushi Nishikawa², Alexander Loesing², Hiroto Sekiguchi¹ (1.Toyohashi Tech, 2.ALLOS)

Keywords:MicroLED, transfer method, hollowed-structured

我々はLEDの中空構造形成と熱剥離シートを用いた一括転写技術を確立することで，80µm角のLEDを1mm角に数十個集積した生体利用可能なLEDフィルムを実現した。神経細胞をより選択的に光刺激するために，5~20µmのサイズをもつ神経細胞と同じサイズのLEDの集積化が求められる。本研究では，LEDの中空構造の微細化に取り組み、KOH溶液温度を正確に制御することで再現性よく40µm角～100µm角のマイクロLEDの中空構造を形成できた。