[15p-B401-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [15p-B401-13] マイクロ流路を同時集積したマイクロLED神経プローブの開発

〇(D)大屋 翔¹、篠原 豪太¹、西川 敦²、Loesing Alexander²、関口 寛人¹ (1.豊橋技大、2.ALLOS)

キーワード：マイクロLED、マイクロ流路、神経プローブ

脳機能解明のためのツールとしてマイクロLEDと流路を一体集積したプローブの開発を進めてきた．しかし，流路に流す薬液とLED駆動が相互に影響を及ぼさないよう，流路内部への保護層形成する必要がある．本研究では，熱酸化プロセス法を適用することにより流路側壁をSiO₂薄膜で保護したマイクロLED/流路プローブの開発を行った．