[15p-B410-1~15] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[15p-B410-1] Analysis of Lot-to-lot Variation in Minimal Fab

〇Hiroyoshi Hongoh¹, Sommawan Khumpuang^1,2, Shiro Hara^1,2,3 (1.MINIMAL, 2.AIST, 3.Hundred)

Keywords:Minimal Fab

ミニマルファブでは、搬送エラーやプロセスエラーの低減に注力してきており、最近ではこれらのエラーも改善されてきている。生産ファブへの移行を目指す次の段階として、今回はトランジスタを含む回路を搭載するウェハをミニマルファブで複数回数作成して、デバイスの性能ばらつきを測定し、得られた結果について考察した。