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[15p-E102-17] [第44回論文奨励賞受賞記念講演] サファイア基板上α-(AlxGa1-x)2O3 薄膜の熱的安定性
キーワード:超ワイドバンドギャップ半導体、酸化ガリウム、構造相転移
酸化アルミニウムガリウムは、Al組成の変化により5.4~8.8 eVの高エネルギー領域でバンドギャップ変調可能な超ワイドバンドギャップ材料であり、超ワイドバンドギャップ領域でのヘテロ構造を用いた応用が期待されている。Al2O3とGa2O3の最安定相はそれぞれα相とβ相と異なるため、酸化アルミニウムガリウムは理論的にAl組成0.7以下ではβ相、0.7以上ではα相がエネルギー的に安定である。α-(AlxGa1-x)2O3の応用において構造安定性は重要であり、本発表では、0≤x≤0.9での速度論的熱的安定性について報告する。