2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15p-E102-1~17] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2023年3月15日(水) 13:30 〜 18:15 E102 (12号館)

古田 守(高知工科大)、井手 啓介(東工大)、後藤 健(農工大)

18:00 〜 18:15

[15p-E102-17] [第44回論文奨励賞受賞記念講演] サファイア基板上α-(AlxGa1-x)2O3 薄膜の熱的安定性

神野 莉衣奈1、金子 健太郎1、藤田 静雄1 (1.京都大学)

キーワード:超ワイドバンドギャップ半導体、酸化ガリウム、構造相転移

酸化アルミニウムガリウムは、Al組成の変化により5.4~8.8 eVの高エネルギー領域でバンドギャップ変調可能な超ワイドバンドギャップ材料であり、超ワイドバンドギャップ領域でのヘテロ構造を用いた応用が期待されている。Al2O3とGa2O3の最安定相はそれぞれα相とβ相と異なるため、酸化アルミニウムガリウムは理論的にAl組成0.7以下ではβ相、0.7以上ではα相がエネルギー的に安定である。α-(AlxGa1-x)2O3の応用において構造安定性は重要であり、本発表では、0≤x≤0.9での速度論的熱的安定性について報告する。