[15p-PA02-1~12] 8 Plasma Electronics (Poster)

[15p-PA02-8] Basic Investigation of Curling Probe Embedded into an Electrode for a Measurement of Electron Density in Plasma

〇(B)Sho Matsubara¹, Keiji Nakamura¹, Ogawa Daisuke¹ (1.Chubu University)

Keywords:Curling Probe, Electron Density Measurement, Electrode Embedindg

プラズマ中の電子の数やそのエネルギーを知ることは、プラズマ中で起こっている反応を分析することになり、例えば発光では得られないような情報を得ることができる。カーリングプローブは、マイクロ波領域の周波 数を用いたプラズマ中の電子密度の電気的測定法の1つであり、その計測原理より、膜が堆積す るようなプラズマにおいても、その計測が可能である。その一方で、カーリングプローブは共振 部を持つため、そのプローブ先端は直径 10 mm 程度の円筒形状になっている。近年使われるよう な小さな電極間距離を持つ反応容器では、このような形状のプローブの使用は困難であるため、 昨今、我々はこのカーリングプローブを電極内に埋め込んだり、壁に埋めこんだりするための調査を進めている。本発表では、この調査における最新の研究成果について報告する。