[15p-PA03-1~18] 12.1 作製・構造制御

[15p-PA03-10] 有機薄膜形成のためのインクジェット法による
親水疎水パターニングを用いた液摘挙動制御

〇津田 真太朗¹、服部 吉晃¹、井上 聡¹、北村 雅季¹ (1.神戸大院工)

キーワード：インクジェット法、有機薄膜、親水疎水パターニング

塗布型の有機薄膜トランジスタ(OTFT)はフレキシブル基板上に低コストで作製できる利点がある．ゲート絶縁膜の界面の制御は高性能なOTFTを得るために重要であるが，界面トラップ密度が低い絶縁膜上への塗布法による製膜において原料の溶液が基板表面に濡れ広がらない問題がある．本研究では疎水性基板上に塗布された溶液の挙動を制御する目的で，基板を局所的に親水化して，インクジェット法により有機薄膜を製膜することを検討した．