[15p-PB03-1~15] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB03-12] ECRプラズマ中で合成した鉄・フラーレン複合体のTOF-SIMS分析

〇張 宸涵¹、木塚 智樹¹、北浦 凜弥²、松本 愛優穂²、本橋 健次^1,2,3 (1.東洋大院理工、2.東洋大理工、3.バイオ・ナノエレクトロニクス研究センター)

キーワード：ECRIS、フラーレン、鉄フラーレン複合イオン

電子サイクロトロン共鳴イオン源（ECRIS）内で、フラーレン複合イオンを生成し、Si単結晶基板に照射した後、飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)により元素分析した結果鉄正イオンのピークを観測した。さらに、12u刻みの周期構造を持つクラスター負イオンが多数観測された。このことから、低次フラーレンと鉄の複合イオンと考えられる。