2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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[15p-PB03-1~15] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2023年3月15日(水) 13:30 〜 15:30 PB03 (ポスター)

13:30 〜 15:30

[15p-PB03-13] ECR プラズマ中で合成した鉄・フラーレン複合体の XPS 分析

木塚 智基1、張 宸涵1、北浦 凜弥2、松本 愛優穂2、本橋 健次1,2,3 (1.東洋大院理工、2.東洋大理工、3.バイオ・ナノエレクトロニクス研究センター)

キーワード:ECRIS、フラーレン、鉄フラーレン複合イオン

電子サイクロトロン共鳴イオン源(ECRIS)内で、フラーレンと鉄の複合イオンを生成し、Si単結晶基板に照射した後、X線光電子分光(XPS)により元素分析した。結果として、明瞭なFe(2p)スペクトルを観測した。中でも707 eVの鋭いFe(2p3/2)スペクトルから、生成された複合イオンはゼロ価の鉄原子を内包した可能性がある。