[15p-PB06-1~23] 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics (formerly 3.12)

[15p-PB06-2] Fabrication of Surface Plasmon Filter using Laser Annealing

〇(B)Masaki Kumagai¹, Masato Tanabe¹, Hironari Kyuki¹, Atsushi Utsumi¹ (1.NIT., Maizuru)

Keywords:Surface Plasmon Filter, Laser Annealing

我々は，ショットキー接合型フォトダイオードの受光感度の向上を目的として，表面プラズモンフィルタの開発を行っている．本研究では，ショットキー電極と表面プラズモンフィルタの一体化を目指して，局所的でかつ短時間で金の微粒子化が行えるレーザアニール法を用いて表面プラズモンフィルタを試作した．結果として，金の微粒子化が可能であり，表面プラズモンフィルタが作製可能であることがわかった．